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静电吸盘

静电吸盘

Advanced Energy 的 Trek 电子吸盘电源一直是半导体行业不可或缺的设备。Trek 电源可以帮助您提高产量，增加正常运行时间，从根本上消除晶圆粘着和晶圆爆裂等问题，并减少背面气体错误。

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静电吸盘

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软件驱动静电卡盘电源，输出电压范围为0至±3 kV

Trek 646系列

Trek®646软件驱动静电吸盘电源提供了一系列功能，可适应各种苛刻的应用。该仪器采用了先进的能源技术，其效率和吞吐量提高了，相当于其他供应的三倍。Trek 646的多功能可靠性能允许在多个独特的工具和工艺中使用，无需为设施中的每个独特工具或工艺指定新的供应。

特点 规格 技术文档

特点

可锁定的前面板控制接口

随每个装置提供的NIST可追溯校准证书

支持Coulombic和Johnsen Rahbek ESC技术

将静电吸盘配置文件上传并存储到装置中，并通过用户友好的软件界面在内部存储

晶圆检测包括无晶圆、晶圆存在或晶圆夹紧状态

减少背面气体错误，提高吞吐量，并消除晶圆粘性/爆裂问题

控制参数，如过电流、晶片存在和晶片箝位阈值、箝位电压、偏移电压和内部或外部振幅/偏移控制

调整过程振幅/偏移和输出控制的多功能性

使用后面板I/O、串行计算机命令或前面板控件控制输出

配置自定义夹紧和拆卸序列以及波形

规格

技术文档

Trek 646 Data Sheet

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