Advanced Energy 的等离子电源输送系统、交流/直流和直流/直流前端电源以及机架系统产品组合能够以可控、高效的方式提供去除光刻胶所需的精确功率。
随着芯片设计日趋复杂，对精确控制离子注入的要求也越来越高。Advanced Energy功率产品的设计专注于优化效率和功率密度，确保精确控制离子能量。
Advanced Energy 为电子束检测系统提供稳定可靠的电源。通过严密控制实现高精度的缺陷识别，确保存储器和逻辑器件符合严苛的规格要求。
Advanced Energy 的高精度等离子体功率传输系统可对蚀刻应用进行精确控制，从而实现高重复性和高产量。
AE 为半导体沉积提供全面的产品组合，包括等离子电源输送、温度测量、温度控制和晶圆控制解决方案。
