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Advanced Energy 为电子束检测系统提供稳定可靠的电源。通过严密控制实现高精度的缺陷识别,确保存储器和逻辑器件符合严苛的规格要求。
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行业正向着越来越小的节点进军,而AE可为电子束检测提供先进的高分辨率解决方案。
在需要高灵敏度的逻辑和存储器制造工艺中,电子束系统可提供优于其他技术的分辨率。
AE 解决方案的性能精确可靠,可确保检出其他系统可能会忽略的缺陷。
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