UV 400 & UVR 400高温计_北京融源科技有限公司

热传感器

Advanced Energy 是热传感解决方案领域的行业领导者。我们的热传感产品系列包括 Luxtron® 光纤温度传感器、Impac 和 Sekidenko 高温计以及 Mikron 热成像仪和黑体。我们为各种具有挑战性的应用提供创新动力：半导体设备、工业制造、电信、数据中心计算和医疗行业。

热传感器

适用于GaN基MOCVD外延工艺的真正晶圆表面温度和反射率仪器的超短波长数字高温计。温度范围650至1300°C。

UV 400 & UVR 400高温计

UV 400和UVR 400系统专为基于GaN的MOCVD外延工艺设计，可直接测量晶片表面温度，与传统的基座/袋温度测量相比有了显著改进，从而提高了产量。UVR 400更进一步，包括635nm处的附加反射计，以0.5kHz的测量速度操作，有助于沉积厚度的测量。这些系统重新定义了LED生产工艺的标准，结果显示了工艺温度和最终产品波长之间的可靠相关性。

特点规格技术文档

特点

具有PL波长相关性的可靠晶圆温度
设备可承受氮气气氛和真空（＜10毫巴）
温度范围内的可调子范围
使用真正的光电计数仪器将测量中的噪声降至最低
使用PhotriX和同心光管选项实现反应堆温度控制的完整解决方案
通过精确的真实晶圆温度测量提高产量
使用紫外线波长仪器直接测量GaN层上的温度
利用PL波长相关性获得可靠的晶圆温度
使用快速脉冲光源捕获实时反射率测量
防止残留物温度振荡，如近红外辐射率补偿高温计所示
防止由于延迟采样而导致的数据失真（无快门打开和关闭）

规格

技术文档

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