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射频等离子体发生器

射频等离子体发生器

从各种安装方式和尺寸到全数字控制和动态等离子响应，我们的射频发生器是工艺创新的源动力。您可以从多种型号中灵活选择，并使用独特的配置和控制功能来满足特定的应用要求。

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纳米时代精密电源

eVerest 射频发生器

随着半导体行业加速迈向新的转折点，eVerest™射频发生器满足了转换等离子体控制的需求。其可配置的多级脉冲可实现瞬时或用户定义的转换定时。此外，具有宽频率扫描范围的高速、高精度基于模型的频率调谐提供了更大的过程稳定性和控制。这些功能，加上更快的设置点响应、脉冲状态开始时的受控超调，以及Advanced Energy™物联网智能的复杂PowerInsight，为下一个技术节点的流程创新提供了力量。

特点 规格 技术文档


特点

全射频传输系统，多种匹配解决方案选项，智能同步

可编程多级脉冲轮廓内的速度和控制

高速射频输出响应和脉冲状态上升/下降时间

高达±10%的频率调谐范围

以dP/dZ稳定性设计

PowerInsight by Advanced Energy™物联网生态系统

实现<2 nm沉积和蚀刻轮廓的新工艺开发

提供可靠的点火，RF稳定性与电缆长度无关

无缝集成到任何等离子体系统中

增加处理空间并拓宽稳定性窗口

规格

技术文档

New-eVerest-datasheet

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地址：北京市海淀区小营西路16号北楼5层

电话：400-888 2679，010-8271 5573

传真：010-6295 4293

邮箱：info@rypower.com

网址：www.rypower.com

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