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射频等离子体发生器

射频等离子体发生器

从各种安装方式和尺寸到全数字控制和动态等离子响应，我们的射频发生器是工艺创新的源动力。您可以从多种型号中灵活选择，并使用独特的配置和控制功能来满足特定的应用要求。

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新兴等离子体应用的多级脉冲和脉冲波形控制

Paramount Plus射频发生器

获得脉冲射频产品中最广泛的功能集。派拉蒙Plus提供精确的射频调节、复杂的脉冲操作和先进的数据采集。Paramount Plus的设计覆盖了广泛的射频能量范围——频率为1至60 MHz，功率水平为1.5至15 kW——提供了您所需的可重复性和可靠性。

特点 规格 技术文档

特点

通过严格调节的功率输出增强射频稳定性
高级多级脉冲
脉冲同步和监测
实时功率和阻抗测量
先进的FastDAQ数据采集系统
精确控制射频
增强等离子体稳定性
加速等离子体转变
减少处理时间
提高工艺重复性和腔室匹配性

规格

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地址：北京市海淀区小营西路16号北楼5层

电话：400-888 2679，010-8271 5573

传真：010-6295 4293

邮箱：info@rypower.com

网址：www.rypower.com

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