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从各种安装方式和尺寸到全数字控制和动态等离子响应，我们的射频发生器是工艺创新的源动力。您可以从多种型号中灵活选择，并使用独特的配置和控制功能来满足特定的应用要求。
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以新的运营灵活性为重点，推进流程开发。派拉蒙®高频射频发生器提供宽功率范围，支持多种集成场景，并配备标准串行/模拟接口和其他可选通信接口。派拉蒙HF能够实现高纵横比器件所需的高等离子体密度和离子能量，并加快半导体加工工具下一节点的加工速度。派拉蒙平台的数字架构提供了精确的电源管理，并简化了新功能集成，无需交付周期或硬件更改。通过对等离子体变化的实时检测实现了高功率输出和可重复的性能。内部保护限值便于可靠操作。
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