Apex射频发生器_北京融源科技有限公司

射频等离子体发生器

从各种安装方式和尺寸到全数字控制和动态等离子响应，我们的射频发生器是工艺创新的源动力。您可以从多种型号中灵活选择，并使用独特的配置和控制功能来满足特定的应用要求。

紧凑型安装的高功率密度

多功能的Apex®射频发生器和功率输送系统系列展示了适用于腔室安装的紧凑、模块化设计。Apex射频发生器和功率输送系统利用先进的射频转换技术，提高了产品和工艺的可靠性。高密度功率能力使其成为先进等离子体工艺的理想选择。各种通信模型和可配置功能允许您自定义平台并探索集成方法。无需定制发电机交付周期。

特点规格技术文档

高功率密度 流线型设计
车载腔室安装、刀架安装、机架安装和鞋盒选项
宽带控制回路
可选脉冲控制
高速电弧管理
易于集成具有增强灵活性的流程工具
稳定等离子体操作
提高快速电弧管理的产量
根据您的流程需求轻松定制和配置

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